真空烘箱熱陰極電離真空計(jì)

發(fā)布時(shí)間：2020-10-10 07:37:58 作者：庫(kù)寶試驗(yàn)設(shè)備

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　　真空烘箱熱陰極電離真空計(jì)
　　熱陰極電離真空計(jì)的結(jié)構(gòu)類似于三極管。國(guó)內(nèi)常用的電離真空計(jì)（DL-2）的結(jié)構(gòu)原理如圖8.0-8所示。熱陰極燈絲A在通電和加熱后會(huì)發(fā)射熱電子，而柵極陽(yáng)極B的正電壓較高。熱電子通過(guò)陽(yáng)極B的電壓被加速并被陽(yáng)極收集。因?yàn)殛?yáng)極是網(wǎng)格狀的，所以會(huì)有一些電子通過(guò)陽(yáng)極。這些電子在板狀集電體C的作用下在負(fù)電壓的作用下返回陽(yáng)極，在空間中來(lái)回振蕩，最終被陽(yáng)極吸收。當(dāng)電子在空間中移動(dòng)時(shí)，它們使空氣分子電離。通過(guò)電離產(chǎn)生的正離子被集電器C收集，形成一定的離子電流Ii。對(duì)于一定的電子流Ie，離子流Ii與氣體壓力成正比，即
　　真空烘箱熱陰極電離真空計(jì)
　　其中：Ki稱為電離調(diào)節(jié)器的靈敏度。
　　由于高真空中的氣體非常稀薄，并且測(cè)得的離子電流非常小，因此測(cè)量?jī)x器需要一個(gè)微電流放大器D和一個(gè)燈絲穩(wěn)態(tài)電流設(shè)備。熱陰極電離真空計(jì)的線性指示范圍是10-3?10-7 Torr。在高真空領(lǐng)域，電離真空計(jì)是廣泛使用的主要真空計(jì)。由于電離真空計(jì)的燈絲和陽(yáng)極很容易在低真空下燒壞，因此請(qǐng)勿在低真空下使用。電離真空計(jì)工作時(shí)，不允許將大氣放入真空室，以免燒毀真空計(jì)。
　　由電離真空計(jì)和上述熱電偶真空計(jì)組成的“復(fù)合真空計(jì)”具有廣泛的應(yīng)用范圍，總范圍為10-1至10-7 Torr。用熱電偶儀測(cè)量10-1?10-3托，用電離儀測(cè)量10-3?10-7托。

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